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一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法

发明专利有效专利

申请号：CN200510026156.8
申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日：2005-05-25
主分类号：暂无
公开（公告）日：2005-11-23
公开/公告号：CN1699960

委托购买

摘要：一种经改进的微悬臂梁弹性系数的测试方法，具体步骤是(1)首先将已知弹性系数ko的带有探针的悬臂梁安装在原子力显微镜夹具中，将已知悬臂梁与一个硬基底接触获得其总形变量δtot；(2)将未知悬臂梁或者微结构放置在测试基座上，将已知悬臂梁与未知悬臂梁的上表面相互接触，获得在未知悬臂梁上的形变量δt1；(3)再将未知悬臂梁微结构翻转180度，进行与步骤(2)相同的测试获得形变量δt2；(4)再采用δtest＝(δt1+δt2)/2计算出平均形变量；(5)再利用公式见右下式进行计算，得到弹性系数；式中，θ为两个悬臂梁之间的夹角，0.3ko＜k＜3ko。本方法可扩展测试其他微结构单元或器件的弹性系数或其他力学量。

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