一种紧凑型连续太赫兹双轴共焦扫描反射式偏振成像装置及成像方法
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一种紧凑型连续太赫兹双轴共焦扫描反射式偏振成像装置及成像方法
发明专利有效专利- 申请号：CN201510956690.2
- 申请人：哈尔滨工业大学
- 申请日：2015-12-17
- 主分类号：G01N21/21
- 公开（公告）日：2016-05-11
- 公开/公告号：CN105572052A
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摘要：一种紧凑型连续太赫兹双轴共焦扫描反射式偏振成像装置及成像方法，本发明涉及紧凑型连续太赫兹双轴共焦扫描反射式偏振成像装置及成像方法。本发明是为了解决目前太赫兹共焦扫描偏振成像技术中轴向分辨率较低的问题。本发明装置包括：太赫兹激光器(1)、氦氖激光器(2)、分光片(3)、A1偏振片(4‑1)、P1离轴抛面镜(5‑1)、斩波器(6)、P2离轴抛面镜(5‑2)、M1全反镜(7‑1)、载物台(8)、M2全反镜(7‑2)、P3离轴抛面镜(5‑3)、A2偏振片(4‑2)、P4离轴抛面镜(5‑4)、P5离轴抛面镜(5‑5)、探测器一(9‑1)、探测器二(9‑2)和计算机(10)。本发明应用于成像技术领域。
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