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一种精密定位平台动态平面度的测量方法

发明专利有效专利

申请号：CN201510570775.7
申请人：合肥芯碁微电子装备有限公司
申请日：2015-09-09
主分类号：G01B11/30
公开（公告）日：2016-01-13
公开/公告号：CN105241399A

委托购买

摘要：本发明提供一种精密定位平台动态平面度的测量方法，在所测精密定位平台上安装真空吸盘，在真空吸盘上吸附带有规则排列的定位标记的测试板，借助图像采集系统和自动聚焦系统，测量出不同位置下精密定位平台X轴和Y轴的动态平面度，并绘制成曲线。本发明适用于直写光刻技术或用到精密定位平台的其他技术领域，比传统的激光干涉仪测量成本低、易操作，本发明所述图像匹配和自动聚焦测量动态平面度的方法，测量精度高，误差为亚微米级别,可以有效评估精密定位平台的动态性能。

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