一种用于薄膜太阳能电池刻膜及打点的装置
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一种用于薄膜太阳能电池刻膜及打点的装置
发明专利有效专利- 申请号：CN200810236766.4
- 申请人：武汉凌云光电科技有限责任公司
- 申请日：2008-12-11
- 主分类号：H01L31/18
- 公开（公告）日：2009-05-13
- 公开/公告号：CN101431126
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摘要：本发明涉及一种用于薄膜太阳能电池刻膜及打点的装置。该装置包括激光器、支撑台座、自动聚焦控制、自动摄像定位、光学平台、工控机、电源和动态振镜扫描。其特点是，光学平台上设有送料机构，其一侧面设置了支撑台座，自动聚焦控制和自动摄像定位子系统。在支撑台座的横梁内设置了X-Y轴振镜扫描单元、Z轴前聚焦单元和激光器。工控机通过电缆分别与激光器、X-Y轴振镜扫描单元，Z轴前聚焦单元和电源连接。本发明具有结构简洁、工艺规范、生产成本低、易于大批量生产；具有扫描范围宽、聚焦光斑小且一致性好，能自动准确定位、工作效率高等优点，可以广泛地应用于非晶硅薄膜太阳能电池刻膜及打点等生产领域。
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