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一种焦点位置检测装置及其检测方法

发明专利有效专利

申请号：CN201210001452.2
申请人：中航华东光电有限公司
申请日：2012-01-05
主分类号：G03B13/34
公开（公告）日：2012-07-04
公开/公告号：CN102540638A

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摘要：本发明公开了一种焦点位置检测装置及其检测方法，所述检测装置，包括基座，在基座上设有光束发生器；在基座上位于光束发生器的一侧设有透镜夹持器；在基座上沿透镜或光学系统光轴方向依次设有用于产生激光散斑效应的毛玻璃、用于产生散光散斑颗粒的半透明漫反射屏及用于摄取半透明漫反射屏上的散斑颗粒的成像单元；毛玻璃、半透明漫反射屏及成像单元底端连接于滑块上，滑块一端连接有步进电机，步进电机连接有数据处理单元，滑块在步进电机控制下在所述基座上沿透镜或光学系统光轴方向相对移动；成像单元与所述数据处理单元连接；所述检测方法，分为三步骤。本发明不仅检测速度快，且准确性高，成本低。

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