一种激光三差动共焦theta成像检测方法
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一种激光三差动共焦theta成像检测方法
发明专利无效专利- 申请号：CN201210107951.X
- 申请人：北京理工大学
- 申请日：2012-04-13
- 主分类号：G01B11/00
- 公开（公告）日：2012-08-15
- 公开/公告号：CN102636118A
申请同类专利
摘要：本发明属于表面微细结构测量技术领域，涉及一种激光三差动共焦theta成像检测方法。该方法采用共焦theta显微术的光路布置对被测样品进行扫描测量，将物镜的光瞳面分割为照明光瞳和收集光瞳，入射光束透过照明光瞳后被物镜会聚到被测表面，载有被测样品信息的反射光经过收集光瞳后，被聚光镜会聚于探测面上，在探测焦面上设置三个区域，测得这三个区域的响应并得出探测器响应特性方程，依据曲线在线性区间内的强度大小，或强度为零的位置，重构出被测样品的表面形貌和微观尺度。该方法结构简单，可有效兼顾分辨能力与量程范围，实现物体表面形貌和三维微细结构等的光学高分辨绝对测量。
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