一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法
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一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法
发明专利有效专利- 申请号：CN200610053955.9
- 申请人：浙江大学
- 申请日：2006-10-25
- 主分类号：G01N21/00
- 公开（公告）日：2007-05-16
- 公开/公告号：CN1963460
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摘要：本发明涉及一种测量镀膜玻璃薄膜光学参数的方法，包括如下步骤：建立薄膜厚度h、折射率n、消光系数k与薄膜透射率、反射率的函数关系，与实测镀膜玻璃的可见光透射、反射光谱联立构成曲线拟和问题，利用模拟退火法、牛顿迭代法相结合的两步法求解这个曲线拟和问题，从而获得薄膜光学参数的测量结果。本发明与已有的相应技术相比，更适于镀膜玻璃薄膜的测量，具有快速准确的测量效果，测量结果稳定，而且方法简便易行，成本低廉。
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