一种测热式微型流量传感器专利查询检索|一种测热式微型流量传感器专利申请-路标网

商标
专利
政策

专利名

专利名
申请号
申请人
权利人
代理机构

或

免费

专利名称 1 申请号申请人权利人代理机构

专利申请专利分类表专利评估专利年费计算专利政策

专利类型：

专利有效性：

法律状态：

高级筛选：

申请年份

公开年份

授权年份

IPC分类号

申请人

当前权利人

路标网共为您找到相关结果1个

公开(公告)时间

申请时间

只看在售

一种测热式微型流量传感器

发明专利无效专利

申请号：CN200510062113.5
申请人：浙江大学
申请日：2005-12-19
主分类号：G01F1/68
公开（公告）日：2006-06-14
公开/公告号：CN1786674

申请同类专利

摘要：本发明公开了一种测热式微型流量传感器。在单晶硅衬底上，自下至上依次设有二氧化硅绝热膜、含有加热元件和热电堆半导体电极构成的单晶硅膜、二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜；或在单晶硅衬底中间填充有硅胶填充物；或在中间填充有硅胶填充物的单晶硅衬底上面设有热电堆半导体电极和加热元件，热电堆半导体电极从自下至上依次设有二氧化硅隔离层，热电堆金属电极、金属连线和焊点，氮化硅膜。将传感器放在流道中，加热元件供电后产生热量，位于两侧的热电堆分别输出由各自所测量的流场范围内的温度分布差异而产生的电压信号，将两个电压信号相减后作为最终输出的电压信号，由此实现测热式流量测量。

著录信息权利要求说明书PDF全文法律状态引证文献

前往

页

没找到想要的结果？为您推荐专业专利顾问检索 一种测热式微型流量传感器 专利，更快更准确

免费

我想查:已帮助11128897位用户进行查询

一种膜丝阻断胶添加设备

实用新型

一种测热式微型流量传感器

在售专利 早买早用

您正在查看一种测热式微型流量传感器专利

在售专利早买早用