一种氧传感器的制造方法
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一种氧传感器的制造方法
发明专利无效专利- 申请号：CN98121843.1
- 申请人：康达(成都)电子有限公司
- 申请日：1998-11-13
- 主分类号：暂无
- 公开（公告）日：2000-01-19
- 公开/公告号：CN1241822
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摘要：一种氧传感器的制造方法,采用模压成形和预置烧结工艺技术制作氧化锆薄片并在薄片上形成一个扩散孔,在该氧化锆薄片两侧印刷两个电极,其中一个电极处于一个扩散室中,采用厚膜微电子工艺技术制作一个加热器为该氧传感器加热。通过该方法制得的氧传感器,由于保持了扩散孔的一致性,所以传感器互换性好;由于制作了加热器,并使传感器与加热器一体化,从而提高了热效率,所以该方法制造的氧传感器使用温度范围更加广泛。
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