一种氦质谱检漏仪用组合阀座

专利类型:
实用新型(1)
专利有效性:
有效专利(1)
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公开(公告)时间
申请时间

一种氦质谱检漏仪用组合阀座

实用新型有效专利
  • 申请号:CN201820473569.3
  • 申请人:安徽诺益科技有限公司
  • 申请日:2018-04-03
  • 主分类号:G01M3/20
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
委托购买

摘要:本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪用组合阀座,所述主阀座与检漏仪的主真空泵相连,所述主阀座上设置有排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座、中真空电磁阀阀座,所述排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座和中真空电磁阀阀座分别与主真空泵的对应接口相连;所述入口阀座上设置有与氦质谱检漏仪的检漏口相连通的第一进气口、连通前级真空泵的排气口和预抽电磁阀阀座,所述第一进气口位于预抽电磁阀阀座和主阀座之间。本实用新型的组合阀座中的每个阀座尺寸都很小,避免了加工过程中需要打过深的孔,大大降低的加工的难度,提高了良品率,从而降低了装配前的内孔打磨的工作量。

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