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一种带声学腔的电容式加速度传感器

发明专利无效专利

申请号：CN200910087937.6
申请人：中国科学院声学研究所
申请日：2009-07-02
主分类号：G01P15/125
公开（公告）日：2010-02-10
公开/公告号：CN101644718

申请同类专利

摘要：本发明提供一种带声学腔的电容式加速度传感器。包括：传感器框架、由检测质量块和弹性振动膜构成的加速度检测结构、和带有阻尼孔和限位凸点的背极板。检测质量块位于加速度传感器中心位置，通过四周的弹性振动膜与传感器框架相连接；背极板上制作的阻尼孔用以调节系统阻尼，限位凸点用以防止过载时的粘附或损坏；检测质量块与背极板相互平行，且在各相对的表面上分别形成有检测电容；框架内装入加速度检测结构以及背极板封闭后其内部形成声学腔可以改善频率响应。本发明的传感器结构，对加速度传感器的真空度要求较低，且通过改变阻尼孔的密度和大小、声学腔的体积等可以调节系统的品质因数Q等重要参数，给设计和制造带来较大的灵活性。

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