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一种大口径反射镜组件的面形检验方法

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申请号：CN201611029649.1
申请人：北京空间机电研究所
申请日：2016-11-14
主分类号：G01M11/02
公开（公告）日：2017-04-26
公开/公告号：CN106596057A

委托购买

摘要：本发明涉及一种大口径反射镜组件的面形检验方法，属于光学精密测量技术领域。反射镜组件中的反射镜镜面朝上，用干涉仪测量反射镜组件中反射镜的面形数据W0(m×n)，反射镜组件中的反射镜镜面朝下，用干涉仪测量反射镜组件中反射镜的面形数据W180(i×j)；将W0(m×n)和步W180(i×j)进行面形数据矩阵归一化处理，得到F0(a×b)＝Wa×b+G0(a×b)+Ka×b和F180(a×b)＝Wa×b+G180(a×b)+Ka×b，将归一化处理后的面形数据F0(a×b)和F180(a×b)进行图像叠加，消除重力变形，得到反射镜零重力面形数据F＝(F0(a×b)+F180(a×b))/2＝Wa×b+Ka×b，如果F与Wa×b的差值Ka×b的均方根值不大于0.003λ(λ＝632.8nm)，认为反射镜组件的装配符合要求，如果F与Wa×b的差值Ka×b的均方根值大于0.003λ，认为反射镜组件的装配不符合要求，需重新对反射镜组件重新进行装配。

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