一种多功能超声清洗装置

专利类型:
实用新型(1)
专利有效性:
有效专利(1)
法律状态:
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公开(公告)时间
申请时间

一种多功能超声清洗装置

实用新型有效专利
  • 申请号:CN202120843238.6
  • 申请人:上海天岳半导体材料有限公司
  • 申请日:2021-04-23
  • 主分类号:B08B3/12
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
委托购买

摘要:本申请公开了一种多功能超声清洗装置,其包括壳体、超声发生器;所述壳体包括外壳体和设置在所述外壳体内的清洗槽,所述清洗槽内安装喷淋装置和打磨装置,所述喷淋装置设置在所述清洗槽的一侧,所述喷淋装置用于将清洗剂喷淋至待清洗件A的表面,所述打磨装置设置在所述清洗槽的一侧,所述打磨装置用于打磨喷淋有清洗剂的所述待清洗件A的表面;所述超声发生器设置在所述清洗槽的底部。本申请通过设置喷淋装置向待清洗件A表面喷淋清洗剂,再通过设置打磨装置打磨待清洗件A的表面,最后超声清洗,使得待清洗件A表面的结晶能够被完全去除,不会影响后续的长晶过程;该装置清洁效果好,节省了人力投入,工作效率高。

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