一种基板研磨装置

专利类型:
实用新型(3)
专利有效性:
有效专利(3)
法律状态:
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公开(公告)时间
申请时间

一种基板研磨装置

实用新型有效专利
  • 申请号:CN201720652567.6
  • 申请人:凯斯科技股份有限公司
  • 申请日:2017-06-07
  • 主分类号:B24B21/14
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
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摘要:本实用新型提出一种基板研磨装置,可在使用带型研磨垫的基板研磨装置中,检测并调整驱动滚轴和研磨垫的位置。基板研磨装置包括:一对驱动滚轴,互相平行地被配置;带型研磨垫,围在所述一对驱动滚轴的外周进行旋转;和位置感应部;配置在所述研磨垫的一侧,来感应所述研磨垫的位置变化。

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一种基板研磨装置

实用新型有效专利
  • 申请号:CN201720648854.X
  • 申请人:凯斯科技股份有限公司
  • 申请日:2017-06-06
  • 主分类号:B24B21/10
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
委托购买

摘要:本实用新型提出一种基板研磨装置,在利用带型研磨垫的基板研磨装置中,配备垫整修器,来提供研磨液并整修研磨垫。该基板研磨装置包括:一对驱动滚轴;研磨垫,被围在所述驱动滚轴进行旋转;基板载体,安装有基板;以及垫整修器;配置在所述研磨垫的上部,在进行所述基板的研磨时,向所述研磨垫提供研磨液,且在进行所述研磨垫的整修时,整修所述研磨垫。

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一种基板研磨装置

实用新型有效专利
  • 申请号:CN201620107882.6
  • 申请人:北京京东方显示技术有限公司;京东方科技集团股份有限公司
  • 申请日:2016-02-02
  • 主分类号:B24B37/10
  • 公开(公告)日:暂无
  • 公开/公告号:暂无
委托购买

摘要:本实用新型公开一种基板研磨装置,涉及显示制造技术领域,为解决采用现有技术去除基板的表面上的局部划痕时,因基板的整体厚度减小而导致显示装置的装配精度降低的问题。所述基板研磨装置包括载物台、升降台和磨头,其中,升降台位于载物台上方,升降台可沿垂直于载物台的上表面的方向相对载物台做升降移动;磨头安装在升降台上,磨头可对放置在载物台上的待研磨基板的研磨区进行研磨,研磨区为待研磨基板上有局部划痕的区域。通过磨头去除待研磨基板的表面上的局部划痕,防止待研磨基板的整体厚度的减小,从而可以提高显示装置的装配精度。本实用新型提供的基板研磨装置用于去除基板的表面上的局部划痕。

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