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一种原位应力测试设备及方法

发明专利有效专利

申请号：CN201710487207.X
申请人：郑清团
申请日：2017-06-23
主分类号：G01L1/24
公开（公告）日：2017-08-22
公开/公告号：CN107084809A

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摘要：本发明公开了一种原位应力测试设备及方法，其中，测试设备，包含反应室、反应室顶部的转轴步进马达及通过转轴步进马达控制驱动的可变化角度的激光器、控制激光器横向移动的步进导轨、信号采集器、具有特定应力算法公式的应力计算输出系统、反应室底部的生长载片台、控制载片台的旋转马达、可沉积薄膜的样品、磁场控制装置、温度控制装置以及压力控制装置；反应室顶部至少具有1个第一探测器、反应室侧壁至少具有1个第二探测器；所述激光器通过转轴步进马达控制激光器的旋转角度θ，通过步进导轨控制激光器在反应室顶盖进行横向移动，反应室底部的生长载片台的旋转马达转动可沉积薄膜的样品。

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