一种厚度测量装置和厚度测量方法

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一种厚度测量装置和厚度测量方法

发明专利有效专利
  • 申请号:CN201210528211.3
  • 申请人:北京中科三环高技术股份有限公司
  • 申请日:2012-12-10
  • 主分类号:G01B11/06
  • 公开(公告)日:2014-06-18
  • 公开/公告号:CN103868461A
委托购买

摘要:本发明提供一种厚度测量装置和厚度测量方法。该厚度测量装置包括:支架,包括上部支架和下部支架;一对激光探头,分别位于所述上部支架和所述下部支架;测量台,安装到所述支架;以及移动部,用于使被测样品相对于所述一对激光探头沿第一方向和与所述第一方向交叉的第二方向移动。本发明的厚度测量装置和厚度测量方法,在测量被测样品的厚度时,测量探头不与被测样品压力接触,并且被测样品的被测量部分保持平整,因此,特别适合于测量柔性粘结磁体等具有柔性的物体的厚度。并且仅通过一对激光探头即可准确、快捷地得到被测样品的面厚度分布数据。

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