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一种具有网孔结构加热膜的低功耗微型加热器及制作方法

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申请号：CN201010110083.1
申请人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日：2010-02-11
主分类号：H05B3/00
公开（公告）日：2010-08-04
公开/公告号：CN101795505A

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摘要：本发明涉及一种具有网孔结构加热膜的低功耗微型加热器及其制作方法，其特征在于所提供的微型加热器具有特殊形状的网孔按照一定的规则排布形成具有网孔结构的加热膜，加热膜通过支撑悬梁与衬底框架相连，加热电阻丝以折线形式排布在加热膜上并通过支撑悬梁与衬底框架上的引线用电极相连。这种结构不但可以有效减少加热器加热膜区的热量向支撑悬梁的传导，进一步降低器件功耗，而且可以拓展加热器的制作方法。本发明所涉及的加热器特别适合在气体检测领域应用。

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