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一种具有绝热沟槽的MEMS硅基微热板及其加工方法

发明专利无效专利

申请号：CN201410344533.1
申请人：苏州能斯达电子科技有限公司
申请日：2014-07-18
主分类号：B81B7/02
公开（公告）日：2014-12-03
公开/公告号：CN104176699A

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摘要：本发明涉及硅基微热板领域，公开了一种具有绝热沟槽的MEMS硅基微热板及其加工方法，包括单晶硅衬底；绝热沟槽，形成于所述单晶硅衬底的上表面且具有一定深度，所述绝热沟槽包括一组或多组沟槽，其中每组沟槽包括多个平行排列的直线沟槽；下绝缘层，覆盖所述绝热沟槽及所述单晶硅衬底的上表面；以及设置于下绝缘层上方的加热层和上绝缘层。本发明的绝热沟槽可以稳定地支撑下绝缘层薄膜及其上的加热板和上绝缘层，避免器件在高温工作时下绝缘层变形翘曲导致的加热层脱落。同时，所述绝热沟槽的沟槽表面覆有二氧化硅薄膜，可以起到更好的保温隔热效果，增加微热板的探测灵敏度和使用寿命。

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