摘要：本实用新型涉及一种光学表面亚表层损伤测量装置。现有的大型光学系统或超精密元件表面加工中，光学表面亚表层损伤的测量对元器件表面是破坏性的，且局限性极大。本实用新型包括激光光源，准直扩束镜和分光镜，准直扩束镜中设置有发射端滤波针孔；在分光镜的透射侧光路上设置有接收端聚光镜和针孔光电探测器，在分光镜的反射侧光路上设置有X、Y二维电控平面扫描振镜、测量显微物镜和Z向压电微位移扫描平台；针孔光电探测器通过信号处理及传输模块、表面反射光计算处理模块与控制显示模块连接，Z向压电微位移扫描平台也与控制显示模块连接。本实用新型能实现非破坏、定量测量，纵向测量范围更大，且适应性强，不受加工工艺的制约。

摘要：本发明涉及一种光学表面亚表层损伤测量装置和测量方法。现有的大型光学系统或超精密元件表面加工中，光学表面亚表层损伤的测量对元器件表面是破坏性的，且局限性极大。本发明包括激光光源，准直扩束镜和分光镜，准直扩束镜中设置有发射端滤波针孔；在分光镜的透射侧光路上设置有接收端聚光镜和针孔光电探测器，在分光镜的反射侧光路上设置有X、Y二维电控平面扫描振镜、测量显微物镜和Z向压电微位移扫描平台；针孔光电探测器通过信号处理及传输模块、表面反射光计算处理模块与控制显示模块连接，Z向压电微位移扫描平台也与控制显示模块连接。本发明能实现非破坏、定量测量，纵向测量范围更大，且适应性强，不受加工工艺的制约。